第三百八十一章 攻坚破局 工艺突围 (第2/3页)
门口，看着张远方忙碌的身影，悄悄放下一份热腾腾的宵夜，又悄悄离开。他知道，科研攻关急不得，能做的，就是给他们创造最好的条件，解决一切后顾之忧。
这天下午，黄江北又一次来到实验室，刚进门，就被张远方一把拉住。
“黄市长，我找到问题的症结了！”张远方的眼睛里闪烁着兴奋的光芒，声音因为激动而微微颤抖。
黄江北心里一紧，连忙问道：“快说说，是什么问题？”
“是衬底的预处理！”张远方指着实验记录，“我们之前的预处理流程，只做了清洗和烘干，忽略了表面的应力释放。碳化硅衬底在切割过程中，会产生微小的应力，如果不提前释放，在生长外延层的时候，应力就会导致晶格畸变，平整度自然就上不去了！”
他拿起一支笔，在纸上画出一个简易的流程图：“我建议，在预处理阶段，增加一道高温退火工序。温度控制在1200摄氏度，保温两小时，让衬底表面的应力充分释放。然后再进行清洗，这样就能从源头上解决问题！”
技术负责人凑过来看了一眼，恍然大悟：“对啊！我们怎么没想到这一点！张博士，你这一下就点醒了我们！”
“事不宜迟，立刻调整实验方案，今晚就做实验！”张远方大手一挥，语气斩钉截铁。
夜幕降临，实验大楼里依旧灯火通明。
外延生长炉的温度，缓缓攀升到1200摄氏度。通红的炉膛里，碳化硅衬底静静地躺着，接受着高温的淬炼。张远方和技术团队的成员们，守在监控屏幕前，眼睛一眨不眨地盯着各项参数的变化。
时间一分一秒地过去，每一秒
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