第三百八十一章 攻坚破局 工艺突围

    第三百八十一章 攻坚破局 工艺突围 (第1/3页)

    张远方的办公室，很快就被安置在了实验大楼的顶层。靠窗的位置，摆着一张长长的工作台，上面堆满了碳化硅外延工艺的实验数据和参数图谱，旁边的电脑屏幕上，跳动着密密麻麻的曲线。

    自从决定留下，张远方就一头扎进了实验室。每天天不亮就到岗，深夜才离开，连吃饭都是在实验室里随便对付几口。技术团队的成员们，也被他这股劲头感染，一个个铆足了劲，跟着他连轴转。

    眼下摆在他们面前的，是一道绕不开的坎——外延层平整度始终达不到量产标准。

    “张博士，你看这组数据。”技术负责人拿着一份刚出炉的报告，快步走到张远方身边，指着上面的曲线，“我们调整了三次生长温度，平整度还是差了0.2微米。这个误差，在实验室里能接受，但放到生产线，就是致命的缺陷。”

    张远方皱着眉，接过报告，目光死死地盯着那些起伏的曲线。他手指在纸上快速划过，嘴里低声念叨着：“温度梯度、气体流量、衬底偏压……问题到底出在哪？”

    他转身走到外延生长炉旁，仔细检查着每一个部件的运行状态。从气体输送管道到温度传感器，从衬底承载台到真空系统，一寸一寸地排查，生怕漏掉任何一个细节。

    “把上周的实验记录调出来，我要对比一下。”张远方头也不抬地吩咐道。

    很快，厚厚的一摞记录被搬了过来。张远方坐在工作台前，逐页翻看，红笔在纸上圈圈点点，不时在旁边写下几行批注。窗外的天色，从亮到暗，又从暗到亮，他的眼睛里布满了血丝，却丝毫没有倦意。

    黄江北每天都会抽空来实验室转一圈，有时只是站在

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